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1.设计精密.结构坚固.重量轻.易于安装及维护.
2.空气冷却（气冷式）.
3.值结式驱动,可避免转动皮带及齿轮之松弛或损耗.
4.含率油雾过滤器,不须将气体排出室外.
5.进气口有逆止阀,当泵浦停止时,此逆止阀可隔离泵浦于系统,避免真空油逆流.
6.低震动,不需用基础螺拴固定泵浦.
7.运转声音小.
8.具气体压载阀,可适用于蒸气之制程.
9.即在真空度0.5mbar到40mbar之间进入泵浦之水蒸气,会从泵浦口完全排出,而不会在泵浦内发生凝结现象.
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
