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真空泵配件有：
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两个旋片把转子、定子内腔和定盖所围成的月牙型空间分隔成A、B、C三个部分，当转子按图示方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积不断地增大，A空间的压强不断的降低，当A空间内的压强低于被抽容器内的压强，根据气体压强平衡的原理，被抽的气体不断地被抽进吸气腔A，此时正处于吸气过程。B腔的空间的容积正逐渐减小，压力不断地增大，此时正处于压缩过程。而与排气口相通的空间C的容积进一步地减小，C空间的压强进一步的升高，当气体的压强大于排气压强时，被压缩的气体推开排气阀，被抽的气体不断地穿过油箱内的油层而排至大气中，在泵的连续运转过程中，不断地进行着吸气、压缩、排气过程，从而达到连续抽气的目的。
2XZ型旋片真空泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙)，转子槽内装有带弹簧的二个旋片，将定子分隔成两个工作腔(高、低级工作腔)，旋转时，2XZ型旋片真空泵靠离心力和弹簧的张力使旋片与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动，使得工作腔容积周期性扩大而吸气，低级工作腔容积周期性缩小而压缩气体，借助气体和油的压力推开排气阀排气，从而获得真空。当吸入压力较高时(例如从大气压开始吸气)，气体在腔被压缩，压力急增，则被压缩的气体的一部分直接从辅助排气阀排出，另一部分气体经压缩后通过中壁内的级间通道进入低级腔，再次压缩后从低级排气阀排出，此时高低级腔同时排气;当吸入压强较低时(例如泵工作一段时间之后)，气体由吸气口进入腔，气体在腔内压缩所产生的压力不足以推开辅助排气阀而直接通过级间通道进入低级工作腔，再次压缩后从低级排气阀排出,
